V celom reťazci polovodičového priemyslu je spracovanie a výroba jedným z najdôležitejších článkov. Na takom obrovskom trhu poskytujú polovodičové procesné zariadenia výrobný základ pre polovodičovú veľkovýrobu. Tento článok sa zameria na hlavné zariadenia v procese výroby polovodičov.
1, monokryštálová pec
Funkcia zariadenia: tavenie polovodičových materiálov, ťahanie monokryštálov, pre následnú výrobu polovodičových zariadení, poskytovanie polovodičových predvalkov s jedným kryštálom.
Významné medzinárodné značky: PVA TePla AG (Nemecko), Ferrotec (Japonsko), QUANTUM DESIGN (USA), Gero (Nemecko), KAYEX (USA).
Hlavné domáce značky: Beijing Jingyuntong, Seven Star Huaxuang, Beijing Jingyi Century, Hebei Jinglong Sunshine, Xi' an Jinko Technology, Changzhou Huasheng Tianlong, Shanghai Hanhong, Xi' an Huade, 48. Institute spoločnosti China Electronics Technology Group, Shanghai Shenhe Thermal Magnetic.
2. Epitaxná pec v plynnej fáze
Funkcia zariadenia: poskytnúť špecifické procesné prostredie pre epitaxný rast v plynnej fáze, realizovať rast kryštálov tenkej vrstvy so zodpovedajúcim vzťahom s fázou monokryštálových kryštálov na monokryštáli a vykonať základnú prípravu na funkčnú realizáciu potopenia monokryštálov. Epitaxia v plynnej fáze je špeciálny proces chemickej depozície pár, v ktorom je kryštálová štruktúra rastovej tenkej vrstvy pokračovaním monokryštálového substrátu a zodpovedá orientácii kryštálu substrátu.
Významné medzinárodné značky: CVD Equipment, GT, Soitec, AS, Proto Flex, Kurt J. Lesker, Applied Materials.
Hlavné domáce značky: China Electronics Technology Group 48. Institute, Qingdao Cerida, Hefei Kojing Material Technology Co., LTD., Peking Jinsheng Micro nano, Jinan Liguan Electronic Technology Co., LTD.
3. Epitaxný systém s molekulárnym lúčom
Funkcie zariadenia: epitaxný systém s molekulárnym lúčom, ktorý poskytuje technologické zariadenie na pestovanie filmu na spodnom povrchu podľa špecifických; Molekulárna epitaxia lúča (MBEA) je technika na prípravu tenkých filmov z jedného kryštálu. Používa sa na pestovanie tenkých filmov vrstvu po vrstve pozdĺž kryštálovej osi substrátu za vhodného substrátu a vhodných podmienok.
Významné medzinárodné značky: Riber (Francúzsko), Veeco (USA), DCA Instruments (Fínsko), SVTAssociates (USA), NBM (USA), Omicron (Nemecko), MBE-Komponenten (Nemecko), Oxford Applied (UK) Research (OAR ) spoločnosť.
Hlavné domáce značky: Shenyang Zhongke Instrument co., LTD., Peking Huidexin Technology Co., LTD., Shaoxing Kuangtai Instrument Equipment Co., LTD., Shenyang Keyou Vacuum Technology Co., LTD.
4. Oxidačná pec (VDF)
Funkcia zariadenia: Pri oxidácii polovodičových materiálov je potrebná oxidačná atmosféra, aby sa dosiahol očakávaný návrh procesu úpravy polovodičovej oxidácie, nepostrádateľným článkom v procese spracovania polovodičov.
Hlavné medzinárodné značky: Britská spoločnosť Thermco, Nemecko Spoločnosť Centrotherm Thermal Solutions GmbH Co.KG.
Hlavné domáce značky: Peking Seven Star Huaxuang, Qingdao Freunde, China Electronics Technology Group 48. inštitút, Qingdao Xuguang Instrument Equipment Co., LTD., China Electronics Technology Group 45. inštitút.
5. Nízkotlakový systém chemickej depozície pár (LPCVD)
Funkcia zariadenia: Para obsahujúca plynné alebo kvapalné reakčné činidlo, ktoré tvorí prvky filmu a ďalšie plyny potrebné na reakciu, sa zavádza do reakčnej komory zariadenia LPCVD a film sa vytvára chemickou reakciou na povrchu substrátu. .
Hlavné medzinárodné značky: Hitachi International Electric Company,
Hlavné domáce značky: Shanghai Chijian Semiconductor Technology Co., LTD., China Electronics Technology Group 48. inštitút, China Electronics Technology Group 45. inštitút, Pekingský inštrumentárny závod, Šanghajský strojársky závod.
6. Plazmami zosilnený systém chemickej depozície pár (PECVD)
Funkcia zariadenia: v depozičnej komore použite doutnavý výboj, ionizujte ho a na substráte vykonajte chemickú reakciu na nanesenie polovodičového tenkovrstvového materiálu.
Významné medzinárodné značky: Proto Flex (USA), Tokki (Japonsko), Shimadsu (Japonsko), Lam Research (USA), ASM International (Holandsko).
Hlavné domáce značky: China Electronics Technology Group 45. Institute, Beijing Instrument factory, Shanghai Machinery Factory.
7. Magnetronový naprašovací stôl (MSA)
Funkcie zariadenia: prostredníctvom uzavretého magnetického poľa rovnobežného s povrchom cieľa v bipolárnom naprašovaní a ortogonálneho elektromagnetického poľa vytvoreného na cieľovom povrchu je sekundárny elektrón viazaný na špecifickú oblasť povrchu cieľa, aby sa dosiahla vysoká hustota iónov a vysoká energetická ionizácia a cieľové atómy alebo molekuly sa nanesú na substrát vysokorýchlostným naprašovaním za vzniku filmu.
Významné medzinárodné značky: PVD Company, Vaportech Company, AMAT Company, Hauzer Company, Teer Company, Platit company, Balzers company a Cemecon company.
Hlavné domáce značky: Beijing Instrument Factory, Shenyang Zhongke Instrument co., LTD., Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., China Electronics Technology Group 48. Institute, Kerui Equipment Co., LTD., Shanghai Machinery Factory.
8. Stroj na chemické mechanické leštenie (CMP)
Funkcia zariadenia: mechanickým brúsením a chemickým rozpúšťaním kvapalín &; koróziou &; kombinovaného účinku, aby sa brúsil (polovodičové) leštenie.
Významné medzinárodné značky: Applied Materials, Norfa Systems, Rtec.
Hlavné domáce značky: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., LTD., Alite Microelectronics.
9, litografický stroj
Funkcia zariadenia: Rovnomerne prilepte na povrch polovodičového substrátu (kremíková doska), preneste vzor na maske do fotorezistu a dočasne&„skopírujte &“; štruktúru zariadenia alebo obvodu na kremíkovú doštičku.
Významné medzinárodné značky: ASML (Holandsko), Pan Lin Semiconductor, Nikon, Canon, ABM, SUSS, MYCRO.
Hlavné domáce značky: China Electronics Technology Group 48. Institute, China Electronics Technology Group 45. Institute, Shanghai Machinery Factory, Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD.
10. Reaktívny systém leptania iónov (RIE)
Funkcie zariadenia: medzi doskové elektródy sa aplikuje vysokofrekvenčné napätie, aby sa vytvorila iónová vrstva hrubá stovky mikrónov, a do vzoru sa vloží vysokorýchlostný iónový vzor iónov, aby sa dosiahlo leptanie chemickou reakciou a fyzikálny vplyv a aby sa dosiahlo polovodičové spracovanie. a formovanie.
Hlavné medzinárodné značky: Japan Evatech Company, Spojené štáty americké NANOMASTER spoločnosť, Singapore REC Company, Južná Kórea Spoločnosť JuSung, Južná Kórea Spoločnosť TES.
Hlavné domáce značky: Beijing Instrument Factory, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., LTD., Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., China Electronics Technology Group štyridsiaty ôsmy inštitút.
11. Systém leptania plazmou ICP
Funkcie zariadenia: jeden alebo viac plynov alebo molekúl zmiešaných v reakčnej komore pôsobením vonkajšej energie (ako je rádiová frekvencia, mikrovlnná rúra atď.) Za vzniku plazmy, na jednej strane aktívnej skupiny v plazme a chemická reakcia na leptaný povrchový materiál, ktorá vytvára prchavé produkty; Na druhej strane sú ióny v plazme vedené a urýchľované pôsobením predpätého tlaku na realizáciu smerovej korózie a zrýchlenej korózie leptaného povrchu.
Významné medzinárodné značky: Oxford Instruments (UK), Torr (USA), Gatan (USA), Quorum (UK), Leeman (USA), Pelco (USA).
Hlavné domáce značky: Beijing Instrument Factory, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., Ltd., China Electronic Technology Group 48. Institute, Goder ion Technology (Hong Kong) Holding Co., Ltd., Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, North Microelectronics , Peking Oriental Jicheng Co., Ltd., Peking obchoduje s technológiou Weina.
12, stroj na mokré leptanie a čistenie
Funkcia zariadenia: Mokré leptanie je leptaný materiál namočený v leptanom roztoku pre koróznu technológiu. Čistenie má znížiť kontamináciu, ktorá môže ovplyvniť výkon zariadenia, viesť k problémom so spoľahlivosťou a znížiť výťažok, čo si vyžaduje dôkladné čistenie pred každou vrstvou nasledujúceho procesu alebo pred ďalšou vrstvou.
Významné medzinárodné značky: Screen (Japonsko), SEMES (Kórea), Tokyo Electron (Japonsko), Lam Research (Amerika).
Hlavné domáce značky: Nantong Hualin Kona Semiconductor Equipment Co., LTD., Peking Qixing Huaxuang Electronics Co., LTD., China Electronics Technology Group 45. inštitút, Taiwan Hongsu.
13. Zariadenie na implantáciu iónov (IBI)
Funkcia zariadenia: doping oblasti blízko povrchu polovodiča.
Významné medzinárodné značky: Varian Semiconductor Equipment, Inc., CHA, INC., AMAT, Inc. a Varian Semiconductor Manufacturing Equipment, Inc. (získané spoločnosťou AMAT).
Hlavné domáce značky: Beijing Instrument Factory, China Electronics Technology Group 48. Institute, Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., Shenyang Fangji Light Industry Machinery Co., LTD., Shanghai Silicon Top Microelectronics Co., LTD.
14, skúšobná lavica sondy
Funkcia zariadenia: Prostredníctvom kontaktu sondy s podložkou polovodičového zariadenia sa vykoná elektrický test, aby sa skontrolovalo, či výkonnostný index polovodiča spĺňa požiadavky na konštrukčný výkon.
Významné medzinárodné značky: Nemecko Ingun, QA, MicroXact, Ecopia, Leeno.
Hlavné domáce značky: 45. inštitút China Electronics Technology Group, Peking Qixing Huachuang Electronics Co., LTD., Ruike Instruments, Huarong Group, Shenzhen Senmei Xieer Technology.
15. Stroj na riedenie oblátok
Funkcia: znížením hrúbky oblátky leštením.
Hlavné medzinárodné značky: Japan DISCO Company, Germany G& N company, Japan OKAMOTO company, Israel Camtek company.
Hlavné domáce značky: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., LTD., Shenzhen Fonda Grinding Equipment Manufacturing Co., LTD., Shenzhen Jinzhili Precision Grinding Machine Manufacturing Co., LTD., Weianda Grinding Equipment Co., LTD., Shenzhen Huannifeng Technology Co., LTD.
16. Wafer Scribing Machine (DS)
Funkcia zariadenia: Oblátka nakrájaná na malé kúsky Die.
Hlavné medzinárodné značky: Nemecko OEG spoločnosť, Japonsko DISCO Company.
Hlavné domáce značky: Čínska skupina pre elektronickú technológiu, Peking kechuang spustením zdrojovej fotoelektrickej technológie, LTD., Inštitút prístrojovej techniky shenyang, severozápadný stroj, LTD., (Továreň 709) má továreň na severozápadné stroje, hui sheng electronic spoločnosť zaoberajúca sa elektronickými strojmi a zariadeniami, lanzhou: laser, high-tech industry co., LTD., shenzhen ruby laser equipment equipment., LTD., pracovník Wu Hansan, zhuhai Lianoptronics, Zhuhai Yuemao Technology.
17. Wire Bonder
Funkcia zariadenia: Pripojte podložku na polovodičovom čipe k podložke na kolíku pomocou vodivého kovového drôtu (zlatý drôt).
Významné medzinárodné značky: American Ottey, German TPT, Austria FK, Malaysia UNISEM.
Hlavné domáce značky: China Electronics Technology Group 45. Institute, Beijing Transhijie Technology Development Co., LTD., Yuxin (Chengdu) Integrated Circuit Packaging and Testing Co., LTD. (Malajsie Yunisan Investment), Shenzhen Kaijiu Automation Equipment Co., LTD.